PECVD ugnssystem
Denna produkt är ett medelstort PECVD-system som är öppet skjutbart. Detta PECVD-rörugnssystem är utrustat med en plasma-RF-strömförsörjning, ett trevägs massflödesgasblandningssystem (med intervall på 1-100 SCCM, 1-200 SCCM och 1-200 SCCM), en öppen rörugn med en diameter på 60 mm (med vakuumfläns och anslutningspump) och en mekanisk anordning.
Produktinformation
| Produktmodell | Sliding PECVD Tube Furnace System——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Huvudproduktparametrar | Strömförsörjning: 220V 50/60Hz; Märkeffekt: 3,1 kW; Maximal drifttemperatur: 1200°C (<0,5 h); Kontinuerlig drifttemperatur: ≤1100°C; Rekommenderad uppvärmningshastighet: ≤10°C/min; Värmezonens längd: 440 mm; Termoelement: K-typ |
| Huvudfunktioner | RF-strömförsörjning kan uppnå plasmaförbättring och avsevärt minska experimenttemperaturen; snabb temperaturökning och -fall kan uppnås genom att ugnskroppen glider; filmens spänning kan styras av frekvensen hos RF-strömförsörjningen; stökiometrin kan styras genom processjustering; olika material såsom SiOx, SiNx, SiOxNy och (a-Si:H) kan deponeras |
| Värmeelement | Järn-krom-aluminiumlegeringstråd 0Cr21Al6Nb |
| Storlek ugnsrör | Kvartsrörsdiameter tillval: Φ60 |
| Temperaturkontrollsystem | Inkluderar en YD858 temperaturregulator; PID-kontroll och självinställningsjustering, intelligent 50-segments programmerbar kontroll, med övertemperatur- och utbränningslarmfunktioner; temperaturkontrollnoggrannhet: ±1℃ |
| Plasma RF strömförsörjning | 300W RF-strömförsörjning; Uteffekt: 0~300W justerbar; RF-frekvens: 13,56MHZ; Automatisk matchning; Ljudnivå < 50dB; Kylningsmetod: Luftkylning; Ingångsspänning: 180~250V |
| Vakuumtätande flänsgränssnitt | Standardkonfiguration: ett par vakuumflänsar i rostfritt stål och tätningsringar av silikon med hög temperatur; utloppsflänsarna är treportsflänsar K16, KF25 och Φ8.2; utloppsflänsen kan anslutas till KF25-adaptern med en bälg och sedan till vakuumpumpen. |
| vakuumpump | Använd dubbel roterande skovel mekanisk vakuumpump TRP-12; vakuumgraden kan nå 10-2torr; vakuumanslutningstillbehör är utrustade med KF25 klämmor och bälg i rostfritt stål för anslutning av rörugnen och vakuumpumpen |
| Gasförsörjningssystem | Trevägs massflödesblandningssystem - GYS-3Z; Strömförsörjning: 220V 50/60Hz; Mätområden: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; En mekanisk tryckmätare är installerad på frontpanelen och ansluten till blandningsröret; Manometerområde: -0,1-0,15 MPa; Blandningstankens storlek: Φ80*120mm; Internt anslutningsrör är Φ6,35 |
| Ugnsstruktur | Ugnskroppen kan flyttas åt vänster och höger, och RF-strömförsörjningen kan flyttas åt vänster och höger. Ugnskroppen och RF-strömförsörjningen är installerade på samma glidskena och använder samma kvartsrör. |
| Certifieringsstandarder och kärnkomponenter | Kärnkomponenterna i hela maskinen är i överensstämmelse med CE, UL, MET och andra certifieringsstandarder; kärnkomponenterna inkluderar ABB:s elektriska komponenter, UL-certifierade ledningar och kablar, Omega, Yudian, Continental-instrument, etc. |
Kontakta oss
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Crystal Fiber Co., Ltd. grundades 2015. Det är ett professionellt företag som utvecklar och producerar ultralätta energibesparande högtemperaturmaterial och säljer experimentella elektriska ugnar, industriella elektriska ugnar och icke-standardiserade anpassade elektriska ugnar. Professionell PECVD ugnssystem Tillverkare och PECVD ugnssystem FabrikFöretaget följer principen "överlevnad genom kvalitet, utveckling genom rykte" och upprätthåller affärsfilosofin "praktiskhet, integritet och effektivitet". Vi är engagerade i att tillhandahålla omfattande och högkvalitativa utrustningslösningar för kunder inom industrier som keramik, metallurgi, elektronik, glas och kemiteknik. Vi tillhandahåller även tjänster som pulverrostning, keramisk sintring och högtemperaturexperiment till universitet, forskningsinstitut samt industri- och gruvföretag. Samtidigt strävar vi efter att främja den strategiska utvecklingen av Nengchengs lätta, energibesparande och miljövänliga högtemperatur aluminiumoxidfiber inom området nya ugnar, och strävar efter att bli en internationellt ledande leverantör av avancerade tjänster inom högtemperaturutrustningsindustrin. PECVD ugnssystem Kundanpassad.
Senaste nyheterna
-
Introduktion till Vakuum värmebehandling Vakuumvärmebehandling är en avancerad metallurgisk process som används för att förbättra de mekaniska egenskaperna och hållbarheten hos industriella komponenter. Genom att värma upp material i en vakuummiljö minimeras oxidation och kontaminering, vilket resulterar i exakt och konsekvent materialprestanda. Denna teknik används i stor utsträckning inom industrier som flyg-, bil-, verktygstillverkning och elektronik. Förbättrad materialsty...
