PECVD Rörugn
PECVD-rörugnen är ett ugnssystem för plasmagasfasavsättningsrör, som består av en kvartsreaktionskammare, en radiofrekvensströmförsörjning, ett flerkanaligt gasblandningssystem, en vakuumenhet och ett reaktionskontrollsystem. Ugnen använder högrent aluminiumoxidfibermaterial och ytan är belagd med importerad aluminiumoxidbeläggning med hög temperatur för att förlänga instrumentets livslängd och förbättra uppvärmningseffektiviteten. En radiofrekvensinduktionsanordning är installerad framför den traditionella kemiska ångavsättningen för att jonisera reaktionsgasen och generera plasma. Den höga aktiviteten hos plasma påskyndar reaktionen. Den har god enhetlighet och repeterbarhet, kan bilda filmer över en stor yta, kan bilda filmer vid låga temperaturer, har utmärkt stegtäckning och är lätt att kontrollera filmens sammansättning och tjocklek och lätt att industrialisera. Det används i stor utsträckning vid framväxten av tunna filmer som grafen, kiselmonoxid, kiselnitrid, kiseloxinitrid och amorft kisel (A-SI: H).
| Ugnsrörstorlek (MM) | Drifttemperatur (°C) | Vakuumgrad | Effekt (KW) | Spänning | Värmeelement | Uppvärmningshastighet |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1 MPA 10PA 6,67*10-4PA | 3 | 220/380V | Motståndstråd | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
A furnace lining rarely fails because the furnace reached an impossible temperature. Det misslyckas vanligtvis eftersom det eldfasta materialet valdes för fel blandning av värme, kemi, belastning och termisk cykling. Symtomen är välbekanta: sprickor i det heta ansiktet, öppna leder, korroderade ankare och ett skal som tyst förbrukar gas eller elektricitet i månader. Kort svar: välj eldfast material i ugnen efter felläge först, temperatur andra och pris tredje. Ceramic...
