PECVD Rörugn
PECVD-rörugnen är ett ugnssystem för plasmagasfasavsättningsrör, som består av en kvartsreaktionskammare, en radiofrekvensströmförsörjning, ett flerkanaligt gasblandningssystem, en vakuumenhet och ett reaktionskontrollsystem. Ugnen använder högrent aluminiumoxidfibermaterial och ytan är belagd med importerad aluminiumoxidbeläggning med hög temperatur för att förlänga instrumentets livslängd och förbättra uppvärmningseffektiviteten. En radiofrekvensinduktionsanordning är installerad framför den traditionella kemiska ångavsättningen för att jonisera reaktionsgasen och generera plasma. Den höga aktiviteten hos plasma påskyndar reaktionen. Den har god enhetlighet och repeterbarhet, kan bilda filmer över en stor yta, kan bilda filmer vid låga temperaturer, har utmärkt stegtäckning och är lätt att kontrollera filmens sammansättning och tjocklek och lätt att industrialisera. Det används i stor utsträckning vid framväxten av tunna filmer som grafen, kiselmonoxid, kiselnitrid, kiseloxinitrid och amorft kisel (A-SI: H).
| Ugnsrörstorlek (MM) | Drifttemperatur (°C) | Vakuumgrad | Effekt (KW) | Spänning | Värmeelement | Uppvärmningshastighet |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1 MPA 10PA 6,67*10-4PA | 3 | 220/380V | Motståndstråd | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Varför industriella elektriska ugnar omdefinierar högtemperaturbearbetning I modern tillverkning är exakt termisk kontroll ingen lyx – det är ett processkrav. Den industriella elektriska ugnen har blivit ryggraden i högtemperaturoperationer inom metallurgi, keramik, flyg och avancerad materialproduktion. Till skillnad från bränslebaserade alternativ levererar elektriska ugnar repeterbara, programmerbara värmeprofiler med minimal atmosfärisk kontaminering, vilket gör dem nödvändiga fö...
