PECVD Rörugn
PECVD-rörugnen är ett ugnssystem för plasmagasfasavsättningsrör, som består av en kvartsreaktionskammare, en radiofrekvensströmförsörjning, ett flerkanaligt gasblandningssystem, en vakuumenhet och ett reaktionskontrollsystem. Ugnen använder högrent aluminiumoxidfibermaterial och ytan är belagd med importerad aluminiumoxidbeläggning med hög temperatur för att förlänga instrumentets livslängd och förbättra uppvärmningseffektiviteten. En radiofrekvensinduktionsanordning är installerad framför den traditionella kemiska ångavsättningen för att jonisera reaktionsgasen och generera plasma. Den höga aktiviteten hos plasma påskyndar reaktionen. Den har god enhetlighet och repeterbarhet, kan bilda filmer över en stor yta, kan bilda filmer vid låga temperaturer, har utmärkt stegtäckning och är lätt att kontrollera filmens sammansättning och tjocklek och lätt att industrialisera. Det används i stor utsträckning vid framväxten av tunna filmer som grafen, kiselmonoxid, kiselnitrid, kiseloxinitrid och amorft kisel (A-SI: H).
| Ugnsrörstorlek (MM) | Drifttemperatur (°C) | Vakuumgrad | Effekt (KW) | Spänning | Värmeelement | Uppvärmningshastighet |
| Φ60*2200 | 1100°C | -0,1 MPA 10PA 6,67*10-4PA | 3 | 220/380V | Motståndstråd | 1-20°C/MIN |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
-
Varför Hot Oil Tracing fortfarande tjänar sin plats i processanläggningar Ett raffinaderi måste hålla en svavelöverföringsledning över sin smältpunkt längs ett 400 meter långt rörställ där det inte finns någon ånga. En kemisk anläggning måste hålla en polymerlinje vid en stabil 200°C under vintern. I båda fallen levererar het oljespår enhetlig, kontrollerbar värme utan kondensathantering av ånga eller den elektriska belastningen av motståndsspårning. Överväg spårning av het olj...
